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半導(dǎo)體產(chǎn)生的廢氣如何治理

半導(dǎo)體產(chǎn)生的廢氣如何治理摘要

去年,我們接到上海一家半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司的電話咨詢,這家企業(yè)共有九條生產(chǎn)線,五條已建,四條擬建,包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線,生產(chǎn)時(shí)需要用有機(jī)溶液對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗,揮發(fā)一部分有機(jī)廢氣,還有酸堿廢氣,無法達(dá)標(biāo)排放,提出增設(shè)廢氣處理設(shè)備需求。我們考察現(xiàn)場(chǎng)后,采用兩套噴淋塔工藝和一套沸石轉(zhuǎn)輪+TO的工藝。酸性廢氣風(fēng)量:5000m3/h執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/374-200

去年,我們接到上海一家半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司的電話咨詢,這家企業(yè)共有九條生產(chǎn)線,五條已建,四條擬建,包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線,生產(chǎn)時(shí)需要用有機(jī)溶液對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗,揮發(fā)一部分有機(jī)廢氣,還有酸堿廢氣,無法達(dá)標(biāo)排放,提出增設(shè)廢氣處理設(shè)備需求。



我們考察現(xiàn)場(chǎng)后,采用兩套噴淋塔工藝和一套沸石轉(zhuǎn)輪+TO的工藝。

酸性廢氣

風(fēng)量:5000m3/h

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/374-2006)

工藝:堿性噴淋塔

堿性廢氣

風(fēng)量:10000m3/h

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/374-2006)

工藝:酸性噴淋塔

VOCs廢氣

廢氣成分:丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇單丁醚等

廢氣風(fēng)量:20000m3/h

廢氣濃度:200mg/m3

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/524-2020)

治理工藝:沸石轉(zhuǎn)輪+TO(一用一備)

濃縮倍數(shù):20倍

工藝路線

廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)輸送至沸石轉(zhuǎn)輪,廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中,由脫附風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來,再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO反應(yīng)器中,被氧化成CO2和H2O,達(dá)標(biāo)排放至大氣中。

沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒

項(xiàng)目驗(yàn)收

經(jīng)過第三方檢測(cè),處理后的廢氣濃度滿足相關(guān)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的要求。


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