去年，我們接到上海一家半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司的電話咨詢，這家企業(yè)共有九條生產(chǎn)線，五條已建，四條擬建，包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線，生產(chǎn)時(shí)需要用有機(jī)溶液對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，揮發(fā)一部分有機(jī)廢氣，還有酸堿廢氣，無法達(dá)標(biāo)排放，提出增設(shè)廢氣處理設(shè)備需求。

我們考察現(xiàn)場(chǎng)后，采用兩套噴淋塔工藝和一套沸石轉(zhuǎn)輪+TO的工藝。

酸性廢氣

風(fēng)量：5000m3/h

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31/374-2006）

工藝：堿性噴淋塔

堿性廢氣

風(fēng)量：10000m3/h

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31/374-2006）

工藝：酸性噴淋塔

VOCs廢氣

廢氣成分：丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇單丁醚等

廢氣風(fēng)量：20000m3/h

廢氣濃度：200mg/m3

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（DB12/524-2020）

治理工藝：沸石轉(zhuǎn)輪+TO（一用一備）

濃縮倍數(shù)：20倍

工藝路線

廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)輸送至沸石轉(zhuǎn)輪，廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中，由脫附風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來，再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO反應(yīng)器中，被氧化成CO2和H2O，達(dá)標(biāo)排放至大氣中。

項(xiàng)目驗(yàn)收

經(jīng)過第三方檢測(cè)，處理后的廢氣濃度滿足相關(guān)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的要求。