2.1 背景

某半導(dǎo)體制造企業(yè)在制程廢氣處理方面面臨挑戰(zhàn)，需要一種高效且環(huán)保的解決方案。

2.2 應(yīng)用細(xì)節(jié)

2.3 成功經(jīng)驗

• 高效廢氣處理： 三塔式RTO蓄熱式焚燒爐成功處理了半導(dǎo)體制造中復(fù)雜的氣相污染物，廢氣處理效率維持在99%以上，確保了廢氣排放達(dá)標(biāo)。

• 能源高效利用： 設(shè)備能源回收率達(dá)到94%以上，通過回收廢氣中的熱能，為企業(yè)提供了額外的能源來源，降低了能源開支。

• 穩(wěn)定運行： 在每日20小時運行的情況下，設(shè)備表現(xiàn)出色，維持高效、穩(wěn)定的運行狀態(tài)，為制程提供了可靠的廢氣處理解決方案。