#廢氣處理設備#電子廠涉及到的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣的處理主要針對半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉輪廢氣處理技術。半導體行業(yè)產(chǎn)生的有機廢氣，主要可以分為，半導體制造工藝有機廢氣，和半導體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣。

　　半導體制造工藝

　　1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法

　　現(xiàn)在，半導體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。

　　2、針對電子廠廢氣處理半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉輪廢氣處理技術的凈化原理是：

　　將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

　　3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉輪廢氣處理技術具有以下優(yōu)點：

　　放電產(chǎn)生的筒式沸石轉輪體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

　　反應快，不受氣速限制。

　　采用防腐蝕材料。

　　只需用電，操作極為簡單。

　　設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。

　　氣阻小，適用于大風量的廢氣處理。

　　4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉輪廢氣處理技術應用領域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

　　5、半導體企業(yè)廢氣排放特征分析

　　半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

　　6、半導體行業(yè)有機廢氣和毒氣的來源

　　半導體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與半導體制造工藝相比，半導體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣。

　　含毒氣性廢氣，其來源為化學氣相沉積、干蝕刻機、擴散、離子布值機及磊晶等制程時所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。

　　電子廠廢氣處理半導體筒式沸石轉輪技術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

　　針對排放的腐蝕性強的氯化氫酸性廢氣，采用兩級堿噴淋塔處理系統(tǒng)對其進行處理。通過對比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對氯化氫酸性廢氣的去除效率可達95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級堿噴淋塔凈化工藝，以達到高效凈化、經(jīng)濟可行、穩(wěn)定性高的效果。