半導(dǎo)體作為一個高科技產(chǎn)業(yè)，往往被誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量的有機(jī)和無機(jī)物質(zhì)，包括許多有毒有害物質(zhì)，這些物質(zhì)對環(huán)境具有一定的影響。

半導(dǎo)體生產(chǎn)可以分為晶體材料生產(chǎn)、晶片制造和器件組裝三個階段，其中污染最為嚴(yán)重的主要是晶片制造階段，有機(jī)廢氣的產(chǎn)生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工藝。

半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的VOCs污染物成分復(fù)雜，主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化合物以及酮、醚類等，具有風(fēng)量大和濃度低的特點(diǎn)。我國已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大戶，且各地制定了相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。

天清佳遠(yuǎn)在VOCs領(lǐng)域有著豐富的治理經(jīng)驗(yàn)，在半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理行業(yè)有所建樹，做過不少成功案例。多年來，可迪爾堅(jiān)持用專業(yè)的技術(shù)為業(yè)主設(shè)計(jì)合適的治理工藝，全面解決生產(chǎn)中所面臨的污染超標(biāo)問題，保障正常生產(chǎn)。今天，小編帶大家一起去看看有關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣治理的部分項(xiàng)目案例。