半導(dǎo)體行業(yè)VOCs治理難點(diǎn),附案例方案
半導(dǎo)體行業(yè)VOCs治理難點(diǎn),附案例方案摘要
半導(dǎo)體作為一個高科技產(chǎn)業(yè),往往被誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè),但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量的有機(jī)和無機(jī)物質(zhì),包括許多有毒有害物質(zhì),這些物質(zhì)對環(huán)境具有一定的影響。半導(dǎo)體生產(chǎn)可以分為晶體材料生產(chǎn)、晶片制造和器件組裝三個階段,其中污染最為嚴(yán)重的主要是晶片制造階段,有機(jī)廢氣的產(chǎn)生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的VOCs污染物成分復(fù)雜,主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化
半導(dǎo)體作為一個高科技產(chǎn)業(yè),往往被誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè),但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量的有機(jī)和無機(jī)物質(zhì),包括許多有毒有害物質(zhì),這些物質(zhì)對環(huán)境具有一定的影響。
半導(dǎo)體生產(chǎn)可以分為晶體材料生產(chǎn)、晶片制造和器件組裝三個階段,其中污染最為嚴(yán)重的主要是晶片制造階段,有機(jī)廢氣的產(chǎn)生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工藝。
半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的VOCs污染物成分復(fù)雜,主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化合物以及酮、醚類等,具有風(fēng)量大和濃度低的特點(diǎn)。我國已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大戶,且各地制定了相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。
天清佳遠(yuǎn)在VOCs領(lǐng)域有著豐富的治理經(jīng)驗(yàn),在半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理行業(yè)有所建樹,做過不少成功案例。多年來,可迪爾堅(jiān)持用專業(yè)的技術(shù)為業(yè)主設(shè)計(jì)合適的治理工藝,全面解決生產(chǎn)中所面臨的污染超標(biāo)問題,保障正常生產(chǎn)。今天,小編帶大家一起去看看有關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣治理的部分項(xiàng)目案例。
本文《半導(dǎo)體行業(yè)VOCs治理難點(diǎn),附案例方案》由天清佳遠(yuǎn)發(fā)布,如有疑問歡迎聯(lián)系我們。